<title>乐鱼app下载:碳化硅长晶炉-上海汉虹精密机械有限公司

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SICF-850

碳化硅长晶炉

SICF-850

兼容物理气相传输(PVT)法、液相外延(LPE)法生长SIC晶体

高真空
腔体内壁经镜面抛光,减少气体附着
各表面严密结合,避免产生泄露
大抽速泵体,实现快速极限抽空功能
高密封性阀体,实现长时间的真空保压
 
高精密
高精度数控加工部件
精密传动部件
高品质电控系统
实现运动系统的高精度控制,重复定位无偏差
 
全自动
自主开发系统,实现全自动过程
兼容各种工艺操作流程
操作权限分级,减少误动作
远程控制,实现无人值守
 

技术参数

型号 SICF-850碳化硅长晶炉
基本参数 主机尺寸 W1440xD1740xH3404mm
整机重量 约2.5T
 
支持系统 电     源 容    量 30KVA
电    压 3P 380VAC±10% 50/60Hz
 
冷 却 水 压    力 0.3~0.5MPa
流    量 250L/min
 
工艺气体 压    力 >0.2MPa
 
压缩空气 压    力 0.5MPa~1.0MPa
 
设备参数 极限真空度 5x10 -5Pa
泄 漏 量 5~10Pa/24hr
 
籽晶/坩埚机构 行    程 200mm                              △
升降速度 Max 30mm/min
旋转速度 Max 100rpm
 
腔体尺寸 主 炉 室 Φ850x950                          △
副 炉 室 Φ400x300                          △
“△”项数据可根据客户要求进行调整。

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